Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Tác giả: Vũ Ngọc Hùng

Trong xu thế phát triển mạnh mẽ của công nghệ cao, vi hệ thống cơ điện tử (Micro-Electro-Mechanical Systems – MEMS) là một trong những lĩnh vực công nghệ có vai trò quan trọng trong sự phát triển của khoa học, kỹ thuật và công nghiệp hiện đại, được nhà nước quan tâm đầu tư phát triển và đưa vào chương trình đào tạo của nhiều trường đại học.

Giáo trình "Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử" của tác giả Vũ Ngọc Hùng được Nhà xuất bản Đại học Bách khoa Hà Nội giới thiệu năm 2016, với 256 trang. Nội dung nhằm cung cấp những kiến thức nền tảng về các nguyên lý và công nghệ chế tạo MEMS phục vụ công tác giảng dạy, học tập và nghiên cứu.

 Giáo trình gồm 08 chương, trình bày các vấn đề từ ảnh hưởng của tỷ lệ kích thước đến các hiện tượng vật lý trong linh kiện micro, các kỹ thuật khắc và chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối, vi cơ bề mặt, công nghệ LIGA đến công nghệ đóng gói linh kiện MEMS.

 Giáo trình được biên soạn phục vụ giảng dạy, học tập và nghiên cứu trong lĩnh vực vi điện tử, vật liệu và công nghệ chế tạo linh kiện, không chỉ hữu ích cho các học viên cao học của ngành Khoa học và công nghệ vật liệu điện tử mà còn là tài liệu tham khảo cho sinh viên các ngành như Vật lý kỹ thuật, cơ khí và điện tử viễn thông. Cuốn sách cũng là nguồn tài liệu tham khảo hữu ích cho sinh viên Trường Cơ khí và Trường Điện – Điện tử, Đại học Bách khoa Hà Nội trong quá trình học tập và nghiên cứu các nội dung liên quan đến học phần Hệ thống cơ điện tử thông minh (ME5615).

Tài liệu có ký hiệu xếp giá: TK7875 .V500H 2016, hiện tại đang được phục vụ tại Phòng đọc chuyên ngành P.526 – Thư viện.  Ngoài ra, bạn đọc có thể tiếp cận tài liệu, qua Ấn phẩm thông tin tóm tắt trong trang Tài nguyên số của Thư viện ở mọi lúc mọi nơi https://dlib.hust.edu.vn/

Xin trân trọng giới thiệu!

Cung Thị Bích Hà